名古屋大ら、三元金属炭化物の微細加工に成功：原子層エッチング技術を実用化 - EE Times

名古屋大学は、日立製作所や日立ハイテクとの共同研究により、蒸気プラズマによる三元金属炭化物（TiAlC）のドライエッチングに成功した。関連キーワードはありません