プラズマを半導体材料に照射する加工技術を開発――同技術で発光デバイスも作製 名古屋大学ら

名古屋大学は2023年1月10日、同大学と自然科学研究機構 核融合科学研究所、北海学園大学、東京大学の共同研究チームが、プラズマを半導体材料に照射する加工関連キーワードはありません