新たなプロセス開発でエッチング速度を5倍向上、名古屋大ら：ウエハーを冷却しHFプラズマ使用

名古屋大学の研究グループと東京エレクトロン宮城は、ウエハーを冷却しフッ化水素（HF）プラズマを用いる反応性イオンエッチング（RIE）プロセスのメカニズムを関連キーワードはありません