半導体の生命線「蛍石」 高純度で生成、世界初の大型プラント製造 住友電設と名古屋工大

半導体製造に不可欠な鉱物「蛍石（ほたるいし）」（フッ化カルシウム）を高純度で生成する大型プラントを、住友電設と名古屋工業大の安井晋示教授が完成させた。関連キーワードはありません